I. アプリケーション
LPCVD 拡散石英管は、半導体 LPCVD でガス状化合物を反応させて基板表面に堆積させ、加熱により低圧下で安定した固体膜を形成するために使用できます。 LPCVD は、Poly-Si、Si3N4、SiO2、蛍光体-シリコン ガラス、ホウ素-蛍光体-シリコン ガラス、アモルファス シリコン、高融点金属シリサイド、その他の薄膜を堆積するために使用されます。
Ⅱ． 製品の特徴
LPCVD 石英管は、高純度、低ヒドロキシル、高温耐性などの特徴があります。
III. 製品の種類
PQ181E ,PQ181E H,PQ181E-R,PQ181EH-R
Ⅳ典型的なサイズ
|
外径範囲 |
外径公差 |
重量公差 |
スライディング |
楕円形 |
弓 |
|
外径＜100.00 |
±1.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
|
100.00 OD＜200.00以下 |
±1.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
|
200.00 OD＜300.00以下 |
±1.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
|
300.00 OD＜400.00以下 |
±1.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
|
400.00 OD＜500.00以下 |
±1.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
|
500.00 OD＜900.00以下 |
±2.00 |
±10.00 パーセント |
15.00パーセント |
1.00パーセント |
0.10パーセント |
V．物理的および化学的性質
私。 微量元素ユニット:ppm
|
コード |
基準 |
アル |
カルシウム |
クロム |
銅 |
フェ |
K |
リー |
マグネシウム |
マン |
ナ |
ティ |
Zr |
|
PQ181E PQ181E-R |
典型的 |
13 |
0.5 |
<0.05 |
<0.05 |
0.1 |
0.1 |
0.3 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
1.3 |
1 |
|
最大 |
19 |
1 |
0.1 |
0.1 |
0.5 |
1 |
1 |
0.2 |
0.2 |
1 |
2 |
2 |
|
|
PQ181EH PQ181EH-R |
典型的 |
8 |
0.6 |
<0.05 |
<0.01 |
0.1 |
0.1 |
0.2 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
1.3 |
1 |
|
最大 |
10 |
1 |
0.1 |
<0.01 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
2 |
2 |
※PQ181E-R/PQ181EH-Rは半導体グレードのリサイズチューブです。
ii. OH含有量
|
PQ181E/ PQ181EH |
オハイオ州＜10ppm |
PQ181E-R/ PQ181EH-R |
オハイオ州＜30ppm |
iii. 物理的特性
|
アイテム |
インデックス値 |
|
密度（g/cm3） |
2.2 |
|
熱伝導率（w/m・k,1000度） |
2.28 |
|
熱膨張係数（ 度-1、1000程度） |
5.5×10-7 |
|
軟化点（度） |
1670 |
|
アニーリングポイント（程度） |
1210 |
|
ひずみ点（度） |
1110 |
iv。 熱膨張係数と粘度
私たちの主なRRODUCT
主要応用
C会社の利点
□ ISO9001、ISO14001認証取得
□製品は、TEL、LAM、AMAT の認定を受けています。
□中国のクォーツの故郷にあります
□ SiO2 の純度は 99.995-99.999% に達することができます
□フルクォーツ製品、照明、ソーラー、光学、光ファイバー、半導体等への供給
□世界のトップ有名ブランド
CNAS認定ラボラトリー
生産主要設備
よくある質問：
1.大量注文の場合、割引はありますか？
A: はい、ご注文数量に応じて異なる割引を提供できます。
2.あなたの製品はどの分野に適用されますか?
当社の製品は、半導体、ソーラー、照明、光ファイバーなどに広く使用されています。
3.サイズのカスタムデザインを受け入れますか?
A：はい、サイズが妥当であれば
4.ネームプレートとパッケージに当社のロゴを印刷してもらえますか？
A:はい、できます
5.fl 必要な製品の種類がわかりません。どうすればよいですか?
A: 簡単にしてください。「使用圧力」、「温度」、「メディア」を提供するだけです。次に、最適な製品を提案するか、参照用に電子カタログを提供します。適切なモデルを選択してください。モデル番号をお知らせください。
6.あなたのMOQは何ですか? 1 つの開始順序に異なるスタイルを混在させることはできますか?
A：最初に必要な製品を教えてください。圧縮継手と同様に、MOQは2個です。しかし、最初に品質を確認するためのサンプルとして在庫を提供できます。
7.他の特殊素材で作りたい商品がありましたら、可能ですか？
A:もちろん、私達に設計されたデッサンかサンプルを提供する必要があり、研究開発部門は私達ができるかどうか、私達はあなたに最も満足のいく答えを与えるかどうか推定します。
お客様の来場＆展示会の瞬間:
人気ラベル: lpcvd拡散石英管、中国、サプライヤー、メーカー、工場、カスタマイズ、卸売
