応用
ソーラーグレードの石英管は、単結晶インゴットの成長、シリコンの供給、拡散、コーティング、エッチングなど、シリコンと太陽電池のさまざまな製造プロセスで広く使用されています。
特徴
高純度石英砂を電気連続溶融法で製造したソーラーグレードの石英管で、純度99.995%までの高純度と優れた高温耐性を備えています。
コード
PQ181S、PQ181S-R
仕様
外径範囲 | 外径公差 | WT公差 | スライディング | 楕円形 | 弓 |
OD＜100.00 | ±1.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
100.00≦OD＜200.00 | ±1.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
200.00≦OD＜300.00 | ±1.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
300.00≦OD＜400.00 | ±1.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
400.00≦OD＜500.00 | ±1.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
500.00≦OD＜900.00 | ±2.00 | ±10.00% | 20.00% | 1.00% | 0.10% |
物理化学的性質
1) 微量元素 (単位：ppm)
コード | 基準 | アル | Ca | Cr | Cu | 鉄 | K | 李 | マグネシウム | Mn | な | ティ | Zr |
PQ181S、PQ181S-R | 典型的な | 16.2 | 1 | GG lt;0.05 | GG lt;0.05 | 0.5 | 1.2 | 0.9 | 0.2 | GG lt;0.05 | 1.1 | 1.5 | 1 |
最大 | 25 | 1.5 | 0.1 | 0.1 | 1 | 1.5 | 1.5 | 0.2 | 0.2 | 2 | 4 | 2 |
注：PE181E-R/PQ181EH-Rは半導体グレードのリサイズチューブです。
2) OH含有量
PQ181S | OH＜10ppm | PQ181S-R | OH＜30ppm |
3) 物性
項目 | 指数値 |
密度（g/cm3） | 2.2 |
熱伝導率（w/m·k，1000℃） | 2.28 |
熱膨張係数（℃-1，1000℃） | 5.5×10-7 |
軟化点（℃） | 1670 |
アニーリングポイント（℃） | 1210 |
ひずみ点（℃） | 1110 |
4) 熱膨張係数&アンプ; 粘度
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よくある質問
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