応用
この高純度の白不透明な石英材料は、主に熱遮断の分野、特に半導体および太陽光発電産業で使用されており、半導体製造装置には不可欠な部品です。
特徴
この高純度の白不透明石英材料は、優れた表面仕上げ、優れた断熱性能、および透明石英に近い加工性能を備えています。これにより、反応チャンバーから外部への熱損失が効果的に低減され、デバイス内の発熱部品の寿命が延長されます。
代表的な製品サイズ (単位):mm
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最大仕上がりサイズ |
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長さ/外径 |
幅 |
高さ/厚さ |
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芯 |
600 |
- |
60 |
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角皿 |
500 |
500 |
60 |
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角板 |
800 |
300 |
60 |
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指輪 |
600 |
90 |
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機械的および熱的特性
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プロパティ |
アイテム |
P0052E |
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物理的特性 |
気孔率 |
0.2296% |
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ボアサイズ |
<20um |
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最高連続使用温度 - short (度) |
時間(度) 1300 |
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最高連続使用温度 (点中) (度) |
時間(度) 1150 |
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熱特性 |
熱膨張係数(K-1) |
0.47*10-6(20-320度) |
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熱伝導率(20度、W/m・k) |
0.845 |
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比熱 (J·G-1·k-1) |
0.6559 |
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電気的特性 |
誘電率(500mhz、20度) |
3.8(500MHZ、20度) |
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誘電損失 |
0.0001 |
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引張強さ(Mpa) |
50 |
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曲げ強さ(Mpa) |
83 |
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曲げ強度 (Mpa) |
29 |
微量元素 (代表値) (単位):ppm
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コード |
アル |
Ca |
銅 |
鉄 |
K |
李 |
マグネシウム |
ナ |
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PQ052E |
12.0 |
1.00 |
<0.05 |
0.60 |
0.50 |
0.90 |
0.30 |
1.00 |


波長(nm)
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