応用
この新しい複合石英ガラスは断熱材としてウェーハ製造工程に使用されています。
特徴
新しい複合材料として、PQ1652Eの中央には高純度の白色不透明石英材料PQ052Eが使用されており、高温領域では不透明材料粒子が脱落する危険があります。複合層は穴がなく融合されているため、顕著な熱間加工特性と冷間加工特性を備えています。 PQ1652E、PQ1652EHは全含有量とアルカリ金属含有量が低くなります。
代表的な製品サイズ (単位):mm
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最大サイズ |
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形 |
長さ/外径 |
幅 |
厚さ |
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角皿 |
368 |
368 |
3.5-6 |
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角板 |
550 |
368 |
3.5-6 |
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ディスク |
365 |
一 |
3.5-6 |
物理的および化学的特性
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微量元素 |
(単位)ppm |
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コード |
基準 |
Al CaCrCu 鉄 K リー・エムg Na ニ |
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PQ1652E |
典型的な |
13.0 0.80 <0.05 <0.05 0.30 0.50 0.30 0.10 0.80 <0.05 |
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最大 |
20.0 1.50 0.10 0.10 0.50 1.00 1.00 0.50 2.00 0.10 |
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典型的な |
8.00 0.60 <0.05 <0.05 0.20 0.20 0.20 0.20 0.50 <0.05 |
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PQ1652EH |
最大 |
10.0 1.00 0.10 0.10 0.50 0.50 0.50 0.20 1.50 0.10 |
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光学 伝染 ; 感染 の 複合 クゥアーツ ガラスs
波長(nm)
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