応用
半導体グレードの不透明石英インゴットは、断熱石英部品の基本材料の一種です。 通常、酸化、拡散、CVD バッチ炉処理に適用されます。
特徴
半導体グレードの不透明石英インゴットは、高純度、優れた断熱性と優れた耐熱性を備えています。
代表的な製品サイズ (単位):mm
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外径範囲 |
高さの範囲 |
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100-800 |
100-800 |
物理的な ＆化学薬品 プロパティ
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コード |
基準 |
アル |
Caの |
Cr Cu Fe Li |
マグネシウム |
ナ |
ティ |
ジルコニア |
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PQ872E |
典型的な |
13.0 |
0.60<0.05<0.050.200.400.60 |
0.10 |
0.50 |
1.30 |
1.00<0.05 |
|
|
最大 |
19.0 |
1.00 |
0.10 0.10 0.50 1.00 1.00 |
0.20 |
1.00 |
2.00 |
2.00 0.10 |
|
|
PQ872EH |
典型的な |
8.00 |
0.60 |
<0.05<0.01 0.10 0.100.20 |
0.05 |
0.10 |
1.30 |
1.00<0.05 |
|
最大 |
10.0 |
1.00 |
0.10 <0.01 0.50 0.500.50 |
0.20 |
0.50 |
2.00 |
2.00 0.10 |
物理的特性
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アイテム |
PQ872E型 |
P0872EH |
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密度(g/cm3) |
2.0 |
2.0 |
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ボアサイズ(um) |
≈50 |
≈50 |
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熱伝導率(w/mk、20度) |
1.24 |
1.24 |
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誘電率(500MHZ、20度) |
3.7 |
3.7 |
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アニーリングポイント(C) |
1180 |
1180 |
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ひずみ点(C) |
1070 |
1070 |
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